קו ציפוי ואקום של מגנטרון מתמשך PVD המתמקד בקריסת מגנטרונים, התהליך פועל בסביבת ואקום גבוהה- שבה שדות חשמליים ומגנטיים משולבים מגבילים אלקטרונים כדי להפציץ חומר מטרה, פעולה זו מקרטעת אטומים או מולקולות מהמטרה, ומפקידה אותם על פני מצע נע.
המערכת תואמת לספקי כוח DC, MF ו-RF, יכולה להפקיד סרטי מתכת, סרטי סגסוגת, סרטים דיאלקטריים תחמוצתיים וסרטים מרוכבים מרוכבים.
מערכת תאים רציפה עם בידוד מפולח לשמירה על שיפוע ואקום, עם אזורים עצמאיים להאכלה, ציפוי ופריקה, ובכך מאפשרת ייצור רציף ללא הפרעה.
תכונות ציוד
ייצור מתמשך מבטל את הצורך לשבור שוב ושוב את הוואקום
תא נעילת ואקום מפולח-מאפשר הובלה רציפה של מצעים אל הציוד וממנו, מבטל את זמני ההמתנה לשאיבת ואקום ואוורור הקשורים לעיבוד אצווה ומגביר משמעותית את יכולת הייצור.
תהליך ציפוי-בטמפרטורה נמוכה
עליית הטמפרטורה של המצע ניתנת לשליטה, ומונעת נזק למצעים גמישים ופלסטיקיים רגישים לחום כמו PET, PI, PC ואקריליק. זה גם תואם למצעים של זכוכית, קרמיקה ויריעות מתכת.
שכבת הסרט צפופה ואחידה, עם הידבקות חזקה
אופטימיזציה של שדה מגנטי בשטח- גדול מבטיח אחידות מעולה של עובי הסרט על פני כל המצע.
תצורת מטרה גמישה ומגוון רחב של חומרי ציפוי
עיצוב מכונה מודולרית, רמה גבוהה של התאמה אישית
זה יכול להיות מותאם אישית בהתאם לגודל המצע של הלקוח, הרוחב, יכולת הייצור ודרישות מערכת הסרטים.
בקרת אוטומציה PLC
מסך מגע HMI; ניתן לאחסן ולעקוב אחר פרמטרי תהליך.
יישומים:
צלחת קשיחה: זכוכית, קרמיקה, צלחת PC
זכוכית בנייה ומכשירי חשמל ביתיים:
זכוכית חסכונית באנרגיה-נמוכה-, לוחות למכשירי חשמל ביתיים, מראות דקורטיביות, זכוכית לרכב, זכוכית אופטית HUD
תעשייה פוטו-וולטאית: כיסוי פוטו-וולטאי TCO סרט מוליך
אלקטרוניקה לצרכן: זכוכית מגע, יריעות מוליכות דקורטיביות PC/PMMA
מצע קרמי: ציפוי נחושת קרמי DPC, ציפוי מתכת של לוח מעגלים קרמי
תעשיית הקישוט: סרט דקורטיבי לצלחת שטח גדול, סרט פונקציונלי נגד-קורוזיה
ציפוי ואקום של נחושת, כסף וחומרים מוליכים אחרים על פני השטח של קרמיקה של רכיבים חשמליים וקרמיקה של לוח מעגלים.
זה מתאים גם להנחת ואקום של שכבות סרטי מתכת שונות על פני השטח של לוחות אחרים -כמו חלקי עבודה (זכוכית, לוח אקרילי וכו');
תכונות עיקריות:
השדה המגנטי מגביל את הפלזמה
זוהי תכונת הליבה של קפיצת מגנטרון. על ידי הפעלת שדה מגנטי חזק של צורה מסוימת (בדרך כלל צורת טבעת או מסלול מירוצים) ליד משטח המטרה, האלקטרונים מוגבלים ליד משטח המטרה כדי לבצע תנועה ספירלית, מה שמגדיל מאוד את ההסתברות להתנגשות ויינון של אלקטרונים עם אטומי גז עובד (בדרך כלל ארגון).
קצב יינון גבוה וקצב שיקוע גבוה
כליאת שדה מגנטי מגבירה משמעותית את צפיפות הפלזמה ואת קצב היינון, מה שהופך את תהליך הקפיצה ליעיל יותר.
משמעות הדבר היא שבלחץ גז נמוך יחסית ומתח/הספק נמוכים של קיצוץ, ניתן להשיג קצבי קימוץ ותצהיר גבוהים בהרבה מאשר קפיצת DC קונבנציונלית.
תהליך בטמפרטורה נמוכה
מכיוון שרוב האנרגיה מנוצלת ליינון הגז ואטומי המטרה, מועבר מעט חום יחסית למצע.
איכות סרט טובה
צפיפות טובה, הידבקות חזקה, טוהר גבוה ואחידות טובה.
מגוון רחב של התאמה לחומר
יכולת שליטה טובה בתהליך
קו הייצור של ציפוי מקרזל מגנטרון הפך לאחת מהטכנולוגיות המרכזיות להכנת סרטים דקים פונקציונליים (כגון סרטים אופטיים, סרטים מוליכים, סרטים קשיחים-עמידים בפני שחיקה, סרטים דקורטיביים, סרטים נגד-קורוזיה, סרטים מגנטיים, סרטי מוליכים למחצה וכו') בתעשייה המודרנית בשל תכונות הליבה שלה, תהליכי פירוק ויתרונות גבוהים כמו טמפרטורה נמוכה, סרטים חזקים, יתרונות גבוהים, הידבקות), יכולת הסתגלות רחבה של החומר, אחידות טובה ויכולת שליטה.
תגיות פופולריות: קו ציפוי ואקום רציף מגנטרון PVD, סין קו ציפוי ואקום רציף מגנטרון PVD יצרנים, ספקים, מפעל
