קו ציפוי מרטט אנכי של מגנטרון

קו ציפוי הוואקום הקטן המגנטרון המגנטרון הוא ציוד מתקדם שמשיג תצהיר סרט דק באיכות גבוהה במרחב קומפקטי. זה מתאים במיוחד לייצור אצווה מו"פ ובינוני ובינוני ומוצרים בעלי ערך מוסף גבוה.

הצבת סרטי מתכת כמו ניקל ונחושת על פני הזכוכית, הקרמיקה והמוצרים השטוחים.

מבנה אנכי
ניצול חלל גבוה:

החדר, מערכת הוואקום, מנגנון ההולכה וכו 'נערמים אנכית, ושטח הרצפה הכבוש קטן בהרבה מזה של ציוד אופקי, המתאים במיוחד למעבדות או לסדנאות קטנות עם שטח מוגבל.

פחות זיהום חלקיקים
כוח המשיכה מקל על חלקיקים שנוצרו במהלך התהליך ליפול לתחתית ופחות סבירים לדבוק במשטח המצע, המסייע בהשגת סרט נקי יותר.

טעינת מצע גמישה:
בדרך כלל משתמשים בסל תלויה, מגש או מתלה מצע מסתובב, מה שמקל על השגת ציפוי סימולטני של מספר חלקים או ציפוי אחיד.

תחזוקה נוחה יחסית:
בדרך כלל ניתן לשמור על הרכיבים העיקריים (כגון יעדים, מתלי מצע) מהחלק הקדמי או מהצד.

הַזעָרָה
עלות השקעה נמוכה:

עלות רכישת ציוד, התקנה ושיפוץ מפעלים (כמו חדרים נקיים, חשמל וקירור מים) נמוכה משמעותית מזו של קווים תעשייתיים גדולים.

עלויות תפעול נמוכות:

ואקום מהיר (נפח תא קטן), צריכת גז נמוך וצריכת חשמל נמוכה.

גמישות גבוהה:

קל להחליף את חומר היעד, להתאים את פרמטרי התהליך ולעבור במהירות בין משימות ציפוי שונות. זה מתאים מאוד לייצור רב-זיהוי, ייצור אצווה קטן או ייצור ניסוי מו"פ.

קל לשילוב ולשדרוג:

ניתן לשלב אותו בקלות בקווי ניסוי קיימים או בסביבות ייצור קטנות, וקל יותר להרחיב פונקציות.

טכנולוגיית התזת מגנטרון
שיעור התצהיר גבוה:

השדה המגנטי קושר אלקטרונים ומשפר את יעילות היינון, וכתוצאה מכך שיעורי התזות ותמצית גבוהים יותר.

איכות סרטים טובה:

זה יכול לייצר סרטים צפופים, אחידים ודבק מאוד של מתכות, סגסוגות, תחמוצות, ניטרידים, קרבידס וכו '.

שליטת תהליכים טובה:

על ידי שליטה מדויקת בפרמטרים כמו לחץ גז, כוח, יחס גז (התזת תגובתי), הטיה של מצע וכו ', ניתן לשלוט בדק על ההרכב, המבנה, עובי וביצועיו של הסרט.

ציפוי ואקום
סביבה טהורה:

הוא מתבצע בסביבת ואקום גבוהה כדי להימנע מזיהום אטמוספרי ולהבטיח את טוהר וביצוע הסרט.

ניתן להשתמש בחומרים רלוונטיים: כמעט כל החומרים המוצקים (מתכות, מוליכים למחצה, קרמיקה, פלסטיק וכו ') כיעדים או מצעים.