קו הייצור של ציפוי מגנטרון אופקי הוא תצורת ציוד אדי פיזית חשובה.
מאפיין הליבה שלה הוא שהמצע (חומר העבודה) ממוקם אופקית במהלך תהליך הציפוי.
פריסה זו מביאה מאפיינים ייחודיים ויתרונות יישומים, מה שהופך אותו לבלתי ניתן להחלפה בשדות ספציפיים.
יישומים:
תצהיר של סרטים מורכבים רב שכבתיים על פני הזכוכית, הקרמיקה והמוצרים השטוחים;
תכונות:
מיקום מצע אופקי
זו תכונת הליבה. המצע (כמו צלחת זכוכית, רקיק סיליקון, צלחת מתכת, סדין פלסטיק וכו ') ממוקם אופקית על נשא (כמו מגש, מסגרת), או מועבר אופקית דרך שטח הציפוי על ידי מנגנון מסוע.
ייצור רציף
קווים אופקיים מתאימים מאוד לעיצוב ייצור רציף או מקוון.
ניתן לטעון ברצף את המצעים, לשלוח אותם לתא המזנון לציפוי, ואז לשלוח ולפרוק אותו, ולהשיג פעולות פס הייצור היעילות בקנה מידה גדול.
קל לשילוב אוטומציה
מיקום אופקי ופריסה לינארית נוחים מאוד לשילוב רובוטים טעינה/פריקה אוטומטית, העברת מערכות (כגון גלילים, מסועי שרשרת, רובוטים), ציוד גילוי מקוון וכו 'כדי להשיג ייצור אוטומטי מאוד.
למצעים שטוחים
טוב במיוחד בעיבוד מצעים שטוחים או מעט מעוקלים (כמו זכוכית אדריכלית, זכוכית פוטו -וולטאית, מצעי תצוגה של לוח שטוח, לחמניות גמישות).
השפעה קטנה של כוח המשיכה
מיקום אופקי הופך את כיוון הכובד בניצב למשטח המצע.
עבור חלקיקים העשויים להיווצר במהלך תהליך הפיזוק, השפעת שקיעת הכובד על אחידות שכבת הסרט היא קטנה יחסית (בהשוואה לסוג האנכי).
פעולה ותחזוקה נוחות
ציוד ורכיבים עיקריים ממוקמים בדרך כלל בגבהים הנגישים בקלות למפעילים, מה שהופך את הפעולה היומית, הניטור והתחזוקה לנוחות.
יִתרוֹן:
יעילות ויכולת ייצור גבוהה במיוחד
ייצור רציף:
זה היתרון הגדול ביותר של הקו האופקי. את המצע יכול להיות קלט ותפוקה ברציפות, ותהליך הפיזוק הושלם במהלך התנועה הרצופה או שלב אחר שלב של המצע, המתאים במיוחד לצרכי ייצור מגוון יחיד או מוגבל.
אחידות ציפוי מצוינת באזור גדול
עבור מצעים שטוחים (במיוחד צלחות זכוכית מלבניות), ניתן להשיג אחידות בעובי סרטים גבוהים מאוד על שטח גדול על ידי תכנון בזהירות של פריסת היעד, חלוקת שדה מגנטי, מהירות העברת מצע ומרחק של מצע יעד.
יציבות תהליכים מעולה וחוזרות דירות
תהליכים אוטומטיים ורציפים מאוד מצמצמים התערבות אנושית ושגיאות תפעוליות
מהירות העברה יציבה ובקרת פרמטר תהליכים מדויקים (לחץ גז, כוח, זרימת גז) מבטיחים יציבות תהליכים בין קבוצות ובמשך תקופות זמן ארוכות.
תאימות מצע מעולה וגמישות
חומרים מגוונים: מתאים למגוון מצעים שטוחים כמו זכוכית, יריעות מתכת, פרוס סיליקון, קרמיקה ופלסטיקה ספציפית.
קל להשיג תצהיר סרטים רב שכבתי
על ידי סידור יעדי התזות של חומרים שונים ברצף בנתיב ההעברה והעברת המצע דרך עמדות יעד אלה ברצף, ניתן להפקיד ברציפות סרטים דקים של חומרים מרובים בתהליך העברת אחד, ליצירת מערכת סרטים רב-שכבתיים מורכבים (כמו סרטים רב-שכבתיים של כוסית של כוסית, ומבנה נערם של תאי דק-פילם).
תגיות פופולריות: קו ציפוי מרטט של מגנטרון אופקי, סין, סין מגנטרון אופקי מפיזים יצרני ציפוי, ספקים, מפעל
