עיקרון תפעולי:

מכונת ציפוי רב-קשתות היא ציוד המשתמש בעקרון של פריקת קשת ואקום כדי להתאדות ולייונן את יעד הקתודה (חומר מקור) בסביבת ואקום ולהפקדה על פני השטח של חומר העבודה ליצירת סרט דק.

יישומים:

שפר את הביצועים והחיים של כלים, חותכים ותבניות (ציפוי קשה)
מספק משטחים דקורטיביים נעימים, עמידים וידידותיים לסביבה (ציפויים דקורטיביים)
שפר את עמידות השחיקה, הפחתת חיכוך ועמידות בפני קורוזיה של חלקים מכניים (ציפוי פונקציונלי)

תכונות:

שיעור יינון גבוה:

קשירת בסיס מצוינת של סרטים, מבנה צפוף מצוין וביצועים טובים.

הפצצת יון אנרגטית גבוהה:

עוזר ליצור סרטים צפופים, קשורים חזק וניתן להפקיד אותם בטמפרטורות נמוכות יותר.

שיעור התצהיר גבוה:

בהשוואה לטכנולוגיות PVD אחרות, בדרך כלל יש ציפוי רב-קשתות שיעור התצהיר גבוה יותר.

מתאים לציפויים קשים:

זה טוב במיוחד בהפקדת ניטרידים מתכתיים שונים, קרבידים, תחמוצות וציפויים אחרים קשים, עמידים בפני בלאי ועמידים בפני קורוזיה (כמו פח, CRN, Tialn, DLC וכו '), והוא נמצא בשימוש נרחב בכלים, תבניות, חלקים עמידים בלאי, ציפוי דקורטיבי ושדות אחרים.

מִפרָט:

מכונת ציפוי רב-קשת
דֶגֶם	HL-600	HL-800	HL-1000	HL-1200	HL-1400	HL-1500	HL-1600
גודל החדר	Φ600 × 800 מ"מ	Φ800 × 1000 מ"מ	Φ1000 × 1200 מ"מ	Φ1200 × 1400 מ"מ	Φ1400 × 1600 מ"מ	Φ1500 × 1500 מ"מ	Φ1600 × 1800 מ"מ
יחידת ואקום	יחידת משאבת דיפוזיה של KT400	יחידת משאבת דיפוזיה של KT500	יחידת משאבת דיפוזיה של KT500	יחידת משאבת דיפוזיה של KT630	יחידת משאבת דיפוזיה כפולה KT630	יחידת משאבת דיפוזיה כפולה KT630	יחידת משאבת דיפוזיה כפולה KT630
מערכת ציפוי	אספקת חשמל ציפוי רב-קשתות ייעודית + טבעת מגנטית רב-פונקציונלית טבעת מגנטית מטרה + יעד קשת גלילית (אופציונלי)
מערכת ציפוי עזר	מקור בסיוע יון בטמפרטורה נמוכה (אין צורך במערכת חימום למעט ציפוי כלים)
מערכת אינפלציה	מד זרימת המונים
שיטת בקרה	ידני או אוטומטי לחלוטין
קצב שאיבה	5 × 10-3PA ﹤ 15 דקות
ואקום אולטימטיבי	5x10-4PA
הֶעָרָה	פרמטרי הציוד לעיל מיועדים להתייחסות בלבד, והם מתוכננים ומותאמים אישית על פי דרישות התהליך בפועל של הלקוחות.