עקרון תפעול:
בתוך תא ואקום, נעשה שימוש בשדה מגנטי כדי להגביל פריקת זוהר, מה שגורם ליוני ארגון להפציץ את חומר המטרה במהירויות גבוהות, אטומי מטרה מנותקים ומופקדים על משטח העבודה ליצירת סרט דק צפוף-תהליך המסווג כהשקעת אדים פיזית (PVD).
תכונות ציוד
תואם לסוגים שונים של מטרות מקרטעות
תומך ביעדי מקרטעת מגנטרון DC, MF ו-RF, מתאים הן למטרות מתכת ותחמוצת קרמיות, מה שמאפשר השקה של סרטים דיאלקטריים מתכתיים ומבודדים כאחד.
מהפכת מצע ומנגנון סיבוב
מתלה חומרי העבודה משתמש במערכת סיבוב פלנטרית, המאפשרת לחלקי העבודה בתוך התנור להסתובב ולהסתובב בו-זמנית, דבר זה מבטיח אחידות עובי הסרט מעולה על פני כל עומס התנור וממזער את שונות הצבע.
מערכת טרום טיפול-בטמפרטורה נמוכה ליונים-
המערכת מצוידת במקור-מובנה לניקוי יונים, ומפציץ את משטח העבודה בפלזמה לפני הציפוי כדי להסיר מזהמי שמן ושכבות תחמוצת. הוא מאפשר שקיעת סרט בטמפרטורה-נמוכה עם חימום מצע מינימלי, מה שהופך אותו למתאים לעיבוד פלסטיק רגיש-לחום כגון ABS ו-PC מבלי לגרום לשריפה או עיוות.
תצורת יחידת ואקום עצמאית
שילוב של משאבת טורבומולקולרית, משאבת Roots ומשאבת שבשבת סיבובית, המבטיחה עקומת שאיבה יציבה.
מערכת בקרה תעשייתית אוטומטית לחלוטין PLC
אוטומציה של תהליכים, מתכוני תהליך ניתן לאחסן ולחזור בלחיצה אחת.
בקרת זרימת גז מדויקת
משתמש במספר בקרי זרימת מסה (MFC) כדי לווסת במדויק גזים תגובתיים כגון ארגון, חמצן וחנקן, מה שהופך אותו למתאים לתצהיר קפיצה תגובתי של סרטים מרוכבים של תחמוצת וניטריד.
הגנת נעילת בטיחות
כולל מנעולים לדלת החדר ומערכת הוואקום, כמו גם הגנות מפני עומס יתר, מחסור במים והפסקת חשמל, כיבוי אוטומטי לאחר זיהוי חריגות כדי להגן על מקור המטרה ומערכת הוואקום.
יישומים:
ציפוי דקורטיבי
נרתיקים לשעונים, חומרה לאמבטיה, ראשי אלות גולף, עבודות יד, צעצועים, מחזירי פנסים לרכב, ומכסים ולחצנים לטלפונים ניידים או למכשירים ביתיים. מסוגל לייצר ציפויים דקורטיביים חיקויים של זהב, שחור מתכת-אקדח,-שחור וצבעוני, משמש כחלופה-ידידותית לסביבה וללא זיהום-לציפוי אלקטרוני מסורתי-על בסיס מים.
מצע תואם: פלסטיק ABS, זכוכית, קרמיקה, אריחים ומתכות שונות.
סרטים פונקציונליים
עובש וכלים: ללבוש-ציפוי מגן עמיד לכלי חיתוך ותבניות/מתחות














יתרונות
עובי הסרט ניתן לשליטה וניתן לחזור עליו.
זה יכול להפקיד בצורה מהימנה סרט בעובי שנקבע מראש, וציפוי מתסיס יכול להשיג עובי סרט אחיד על משטח גדול.
לסרט יש הידבקות חזקה למצע.
כמה אטומים מקרטעים באנרגיה גבוהה- מייצרים דרגות שונות של הזרקה, ויוצרים שכבת דיפוזיה פסאודו- על המצע, שבה האטומים המקרטעים ואטומי המצע מתמזגים זה עם זה.
הכנת סרטים דקים מחומרים מיוחדים.
ניתן להכין סרטים מעורבים וסרטים מורכבים על ידי קפיצת חומרים שונים בו-זמנית. ניתן גם לקרטט סרטי זהב חיקוי TiN.
לסרט יש טוהר גבוה והסרט המקרטע לא יתערבב עם מרכיבי חומר מחמם ההיתוך.
מצויד במקור יונים בטמפרטורה-נמוכה, הוא יכול ליצור סרטים על ידי ציפוי קר בטמפרטורת החדר ללא חימום, חיסכון באנרגיה ובחשמל ושיפור יכולת הייצור.
מִפרָט:
|
מכונת ציפוי מקרטעת מגנטרון |
|||||||
|
דֶגֶם |
CJ-600 |
CJ-800 |
CJ-1000 |
CJ-1200 |
CJ-1400 |
CJ-1500 |
CJ-1600 |
|
גודל החדר |
Φ600×800 מ"מ |
Φ800×1000 מ"מ |
Φ1000×1200 מ"מ |
Φ1200×1400 מ"מ |
Φ1400×1600MM |
Φ1500×1500MM |
Φ1600×1800MM |
|
יחידת ואקום |
יחידת משאבת דיפוזיה KT400 |
יחידת משאבת דיפוזיה KT500 |
יחידת משאבת דיפוזיה KT800 |
יחידת משאבת דיפוזיה KT630 |
יחידת משאבת דיפוזיה כפולה KT630 |
יחידת משאבת דיפוזיה כפולה KT630 |
יחידת משאבת דיפוזיה כפולה KT630 |
|
מערכת ציפוי |
ספק כוח DC או תדר בינוני, ספק כוח מיוחד לציפוי יון עזר |
||||||
|
מערכת אינפלציה |
מד זרימת מסה |
||||||
|
שיטת בקרה |
ידני או אוטומטי לחלוטין |
||||||
|
ואקום אולטימטיבי |
5X10-3Pa |
||||||
|
הֶעָרָה |
פרמטרי הציוד הנ"ל הם לעיון בלבד, והם מתוכננים ומותאמים אישית בהתאם לדרישות התהליך בפועל של הלקוחות. |
||||||
תגיות פופולריות: מכונת ציפוי מקרטעת מגנטרון, יצרנים, ספקים, מפעלים של מכונות ציפוי מקרטעת מגנטרון
