מכונת ציפוי ואקוםהכוונה בעיקר לסוג ציפוי שצריך להתבצע בדרגת ואקום גבוהה יחסית, כולל סוגים רבים, כולל אידוי יונים בוואקום, התזת מגנטרון, אפיטקסיית קרן מולקולרית MBE, שקיעת התזת בלייזר PLD וכו'. הרעיון המרכזי הוא לחלק אותו לשני סוגים: אידוי וקיזוז.
תהליך צבע השיפוע משתמש בדרך כלל בציוד ציפוי מקרטעת מגנטרון. נכון לעכשיו, מארזי צבע השיפוע של דגמי טלפונים ניידים רבים כמו Huawei ולנובו משתמשים בתהליך ציפוי שיפוע ואקום PVD.
קפיצת מגנטרונים היא סוג של שקיעת אדים פיזית (Physical Vapor Deposition, PVD). ניתן להשתמש בשיטת הקפיצה הכללית להכנת מתכות, מוליכים למחצה, מבודדים וחומרים נוספים, ויש לה יתרונות של ציוד פשוט, שליטה קלה, שטח ציפוי גדול והדבקה חזקה.
שיטת הקזת המגנטרון שפותחה בשנות ה-70 השיגה מהירות גבוהה, טמפרטורה נמוכה ונזק נמוך. מכיוון שקיטוב מהיר-מבוצע בלחץ נמוך, יש להגביר ביעילות את קצב יינון הגז. קיזור מגנטרונים מציג שדה מגנטי לפני השטח של קתודה המטרה ומשתמש בשדה המגנטי כדי להגביל חלקיקים טעונים כדי להגביר את צפיפות הפלזמה כדי להגביר את קצב הקפיצה.
מכונת ציפוי ואקום מקרטעת מגנטרון היא הציוד הנפוץ ביותר לציפוי מוצרים קיימים בתנאי ואקום. מכונת ציפוי ואקום מקרטעת מגנטרון מלאה מורכבת מחלקים מרובים של המערכת. כל מערכת יכולה להשלים פונקציות שונות כדי להשיג את הציפוי הסופי באיכות גבוהה-. המרכיבים של ציפוי מקרטעת מגנטרון כוללים תא ואקום, משאבה מכנית, מערכת בדיקת ואקום, משאבת דיפוזיה של שמן, מערכת ואקום, משאבת עיבוי, מערכת בקרת היווצרות סרט וכו'.
הגוף העיקרי של מכונת ציפוי ואקום מקרטעת מגנטרון הוא תא הוואקום. גודל תא הוואקום נקבע על ידי המוצרים המעובדים. ניתן להתאים אישית את גודל ציפוי הקזת המגנטרון. החדר עשוי בדרך כלל מפלדת אל חלד ונדרש להיות חזק, עמיד וללא חלודה-. תא ואקום ציפוי מגנטרון מקרטעת יש שסתומי חיבור רבים לחיבור משאבות עזר שונות.
מערכת בקרת היווצרות סרטי ציפוי מגנוטרון יכולה לאמץ שיטות שונות, כגון זמן ציפוי קבוע, בדיקה ויזואלית, ניטור קיצוני וניטור רעידות גבישים. גם מכונות ציפוי ואקום ושיטות ציפוי מכונות ציפוי ואקום מתחלקות לתהליכים שונים. אלה הנפוצים כוללים ציפוי אידוי יונים וציפוי מקרטעת מגנטרון. שכבת הסרט המצופה בקיעת מגנטרון היא בעלת הידבקות חזקה וטוהר גבוה, ויכולה לקרטט מגוון חומרים בעלי קומפוזיציות שונות בו זמנית.
