ציוד ציפוי ואקום באידוי התנגדות מורכב בעיקר מתא ואקום ומערכת שאיבת ואקום. תא הוואקום מכיל מקור אידוי (כלומר, מחמם אידוי), מצע ומחזיק מצע, מחמם מצע ומערכת פליטה. חומר הציפוי ממוקם במקור האידוי בתוך תא הוואקום. בתנאי ואקום גבוה, מקור האידוי מחמם את החומר וגורם לו להתאדות. כאשר הנתיב החופשי הממוצע של מולקולות האדים חורג מהממד הליניארי של תא הוואקום, האטומים והמולקולות של האדים בורחים מפני השטח של מקור האידוי עם התנגשויות מינימליות או חסימה ממולקולות או אטומים אחרים, מה שמאפשר להם להגיע ישירות לפני השטח של המצע. בשל הטמפרטורה הנמוכה יותר של המצע, חלקיקי האדים מתעבים עליו ויוצרים סרט.
לשיפור ההיצמדות בין המולקולות המתאדות למצע, ניתן להפעיל את המצע על ידי חימום מתאים או ניקוי יונים. התהליכים הפיזיקליים המעורבים בציפוי אידוי ואקום, מאידוי חומר והובלה ועד שקיעת סרט, הם כדלקמן:
(1) שיטות שונות משמשות להמרת צורות אחרות של אנרגיה לאנרגיה תרמית, חימום חומר הסרט כדי לגרום לאידוי או סובלימציה, וכתוצאה מכך חלקיקים גזים (אטומים, מולקולות או קבוצות אטומיות) עם אנרגיה מסוימת (0.1~0.3 eV);
(2) החלקיקים הגזים עוזבים את פני הסרט ומועברים אל פני המצע בקו ישר יחסית עם התנגשויות מינימליות במהירות ניכרת;
(3) החלקיקים הגזים המגיעים למשטח המצע מתעבים ומתגבשים, גדלים לסרט דק של שלב מוצק;
(4) האטומים המהווים את הסרט הדק מסדרים מחדש או יוצרים קשרים כימיים.
אידוי בחימום התנגדות היא שיטת החימום הפשוטה והנפוצה ביותר, מתאימה בדרך כלל לציפוי חומרי ציפוי עם נקודות התכה מתחת ל-1500 מעלות. בדרך כלל, מתכת גבוהה בנקודת -התכה- (W, Mo, Ti, Ta, בורון ניטריד וכו') בצורת חוט או יריעה הופכת למקור אידוי בעל צורה מתאימה, שעליו מעמיסים את חומר הציפוי. חימום הג'ול של הזרם ממיס, מתאדה או משנה את חומר הציפוי. הצורות של מקור האידוי כוללות בעיקר ספירלה מרובה-גדילים, צורת U-, צורת גל סינוסואידלית, לוחית דקה, צורת סירה וצורת סל חרוט.
במקביל, שיטה זו דורשת מחומר מקור האידוי יהיו בעלי מאפיינים כגון נקודת התכה גבוהה, לחץ אדים רווי נמוך, תכונות כימיות יציבות (אינו מגיב כימית עם חומר הציפוי בטמפרטורות גבוהות), עמידות טובה בחום ושונות קטנה בצפיפות הספק. זרם גדול משמש למעבר דרך מקור האידוי כדי לחמם ולאדות את חומר הציפוי באופן ישיר, או שחומר הציפוי מונח בכור היתוך עשוי גרפיט או תחמוצות מתכת עמידות לטמפרטורה גבוהה-(כגון Al₂O₂, BO) לחימום עקיף ולאידוי.
ציוד ציפוי ואקום התנגדות לאידוייש מגבלות בתצהיר סרט. למתכות עקשן יש לחצי אדים נמוכים, מה שמקשה על יצירת סרטים דקים; כמה אלמנטים יוצרים בקלות סגסוגות עם חוט החימום; וקשה להשיג סרטי סגסוגת בעלי הרכב אחיד. עם זאת, אידוי בחימום התנגדות הוא שיטת אידוי בשימוש נרחב בשל המבנה הפשוט, העלות הנמוכה וקלות התפעול שלה.
