סיבות ופתרונות לאובך לבן המופיע על חלקי עבודה המצופים במכונות ציפוי ואקום

אובך לבן בחלק הפנימי של חומר העבודה במכונת ציפוי ואקום מורכב יותר לגרום מאשר מבחוץ. סיבות אפשריות כוללות:

1. בעיות במבנה הסרט: מבנה עמודים רופף של הסרט החיצוני, או סרט חיצוני מחוספס מדי;

2. זווית אידוי מוגזמת, וכתוצאה מכך מבנה סרט מחוספס;

3. הפרש טמפרטורה: הפרש טמפרטורה מופרז בין החלק הפנימי והחיצוני של העדשה כאשר היא מוסרת מהציפוי;

4. לחות: לחות בסביבה בה מונחת העדשה לאחר ההסרה מהציפוי;

5. לחות מוגזמת במהלך הפשרת ה- POLYCOLD בתא הוואקום;

6. חמצון לא שלם במהלך שקיעת אדים, וכתוצאה מכך מבנה סרט לא אחיד;

7. מתח בין סרטים.

אסטרטגיות שיפור: מאחר וישנם גורמים רבים לאובך לבן בחלק החיצוני של הסרט, לכל אחד מאפיינים משלו, מומלצים פתרונות ממוקדים. האסטרטגיות העיקריות הן: ראשית, להפוך את הסרט לדחוס וחלק יותר כדי למנוע ספיחה; ושנית, לשפר את הסביבה כדי לצמצם את החפצים שניתן לספוח.

אסטרטגיות שיפור:

1. שפר את מערכת הסרט על ידי הוספת סיליקה לשכבה החיצונית כדי להפוך את משטח הסרט לחלק ופחות נוטה לספיחה. שפר את הסביבה במהלך הסרת העדשה (יבש ונקי).

2. הפחת את טמפרטורת העדשה במהלך ההסרה (האריך את זמן הקירור בתא הוואקום) כדי להפחית את הפרש הטמפרטורות והלחץ.

3. לשפר את החמצן (להגדיל את הכמות) ולשפר את מבנה הסרט.

4. להפחית כראוי את קצב האידוי כדי לשפר את המבנה העמודי.

5. השתמש בציפוי בעזרת-יון כדי לשפר את מבנה הסרט.

6. הוסף שסתום גז קטן במהלך הפשרה פוליקלית (תפקידו להסיר לחות מיידית).

7. שפר את זווית האידוי על ידי שינוי מקור האידוי ומתקן.

8. שפר את חספוס פני השטח של המצע.

9. שימו לב לרמת הוואקום בזמן הפשרה פוליקרית.

נוצר אובך לבן בתוך שכבת הציפוי על חלקי עבודה מצופים בוואקום, ולא ניתן להסיר אותם על ידי ניגוב.

סיבות אפשריות:

1. מצע מלוכלך, שאריות מתהליכים קודמים.

2. זיהום קורוזיה על פני העדשה.

3. אי התאמה בין חומרי ציפוי ובין חומר ציפוי למצע.

4. חימצון לא מספק של תחמוצות.

5. השכבה הראשונה של ציפוי תחמוצת זירקוניום עלולה לגרום לערפול לבן בחלק מהמצעים.

6. זיהום לחות של המצע לפני (לאחר ניקוי) לפני עטיפה.

7. ניקוי או ניגוב לקויים, משאירים סימני ניקוי או ניגוב.

8. תא ואקום מלוכלך, לחות מוגזמת.

9. לחות סביבה גבוהה.

אסטרטגיית שיפור: המצע עצמו הוא ככל הנראה הנושא העיקרי, בעוד שהציפוי נועד לפצות עליו. הבעיה המשמעותית ביותר בציפוי עצמו היא ככל הנראה התאימות של חומרי הציפוי.

אמצעי שיפור:
1. שפר את מערכת הציפוי; הימנע משימוש בתחמוצת זירקוניום כשכבה הראשונה.

2. צמצם למינימום את זמן פתיחת תא ואקום; להבטיח ניקוי יסודי והכנת ציפוי בין תאי ואקום בזמן הקצר ביותר.

3. לאחר החלפת לוחית המגן וניקוי תא הוואקום, עדיף לבצע תהליך אפייה בוואקום עם תא ריק. לוחות הגנה שהוחלפו ורכיבי תאי ואקום אחרים חייבים להיות יבשים ונקיים.

4. שפר את הסביבה.
5. הגן כראוי על העדשות שעל הצלחות בצורת -מטריה לפני שהן נכנסות לתא הוואקום מפני זיהום.

6. שפר את השפעות הניקוי והניגוב.

7. שפר את תאימות הציפוי (שקול להשתמש ב-Al2O3 עבור השכבה הראשונה).

8. לשפר את קצבי החמצון והאידוי של הציפוי (להפחית אותם).

9. האיץ את זרימת העבודה של-הקדם העיבוד. חזקו את ההגנה על משטחים מלוטשים שכבר מעובדים בשלב ה-קדם עיבוד.

10. יש לנקות משטחים מלוטשים מיד לאחר ההברקה; אבקת ליטוש או זיהומים אחרים לא אמורים להידבק ולהתייבש.